Влияние температуры и давления газа на свойства износостойких покрытий, нанесенных ионно-плазменным методом

Рассматривается влияние давления газа при нанесении покрытия. В зависимости от изменения давления газа в вакуумной камере, изменяется качество наносимого покрытия. Давление рабочего газа в камере влияет на стабильность разряда, свойства распыления и осаждения, формирование слоя.

давление газа, физико-механические свойства, покрытие, твердость