Аннотация: Рассматривается влияние давления газа при нанесении покрытия. В зависимости от изменения давления газа в вакуумной камере, изменяется качество наносимого покрытия. Давление рабочего газа в камере влияет на стабильность разряда, свойства распыления и осаждения, формирование слоя.
Ключевые слова: давление газа, физико-механические свойства, покрытие, твердость
Статья в сборнике научных трудов по материалам конференции (форума) «Наука, технологии и техника»