Аннотация: Рассматривается температурная зависимость предела текучести микрослойных покрытий. В процессе нанесения износостойких покрытий температура и. давление рабочего газа сильно влияет на производительность распыления, стабильность разряда и образование пленки покрытия.
Ключевые слова: микрослой, предел текучести, износостойкое покрытие, толщина, прочность.
Статья в сборнике научных трудов по материалам конференции (форума) «Наука, технологии и техника»