Экспериментальная установка для термовакуумного напыления тонких пленок на цилиндрические детали

Дата публикации: 05.06.2019

Экспериментальная установка для термовакуумного напыления тонких пленок на цилиндрические детали

Власов С.Н.
Семочкин А.Ю.
Аннотация: в статье приведены примеры экспериментальной вакуумной установки для термовакуумного напыления тонких пленок цилиндрические детали. Расчет длительность откачки вакуумной системы, при вязкостном режиме течения газа, при молекулярно-вязкостном режиме течения газа и при постоянном газовыделение и натекание.
Ключевые слова: композиционный материал, вакуумная металлизация, оборудование, напыление, установка, вакуумная система
Полный текст статьи