Измерение и контроль вакуума в технологии откачки при изготовлении источников излучения

Дата публикации: 09.11.2018

Измерение и контроль вакуума в технологии откачки при изготовлении источников излучения

Коваленко О.Ю.
Пильщикова Ю.А.
Кирьянова А.А.
Трянин Д.В.
Аннотация: В статье описаны принцип действия и характеристики вакуумметра ионизационно-термопарного, применяемого для измерения вакуума в технологии откачки при изготовлении источников излучения, определена и представлена зависимость максимальной величины газового потока от давления на входе в эжектор при операции откачки воздуха люминесцентных ламп на откачном посту с целью контроля стабильности технологического процесса откачки.
Ключевые слова: вакуумметр, измерение, контроль, технология изготовления источников излучения, откачка
Полный текст статьи