Первая страница: 10

Измерение и контроль вакуума в технологии откачки при изготовлении источников излучения

Коваленко О.Ю.

Пильщикова Ю.А.

Кирьянова А.А.

Трянин Д.В.

Аннотация:

В статье описаны принцип действия и характеристики вакуумметра ионизационно-термопарного, применяемого для измерения вакуума в технологии откачки при изготовлении источников излучения, определена и представлена зависимость максимальной величины газового потока от давления на входе в эжектор при операции откачки воздуха люминесцентных ламп на откачном посту с целью контроля стабильности технологического процесса откачки.

Ключевые слова:

вакуумметр, измерение, контроль, технология изготовления источников излучения, откачка

Статья опубликована в сборнике «Современные тенденции развития инженерных, технологических и прикладных научных исследований».