Аннотация: В статье описаны принцип действия и характеристики вакуумметра ионизационно-термопарного, применяемого для измерения вакуума в технологии откачки при изготовлении источников излучения, определена и представлена зависимость максимальной величины газового потока от давления на входе в эжектор при операции откачки воздуха люминесцентных ламп на откачном посту с целью контроля стабильности технологического процесса откачки.
Ключевые слова: вакуумметр, измерение, контроль, технология изготовления источников излучения, откачка
Статья в сборнике научных трудов по материалам конференции (форума) «Современные тенденции развития инженерных, технологических и прикладных научных исследований»